晶圆翘曲度影响着晶圆直接键合质量，翘曲度越小，表面越平整，克服弹性变形所做的工就越小，晶圆也就越容易键合。晶圆翘曲度的测量既有高精度要求，同时也有要保留其表面的光洁度要求。采用非接触光学测量方式，不会划伤甚至破坏工件，不仅能进行更高精度测量，在测量过程还不会触碰到表面影响光洁度，能保留完整的晶圆片表面形貌。瑞邦精控专注精密运动台，提供精密运动控制解决方案。
三轴精密运动台特点
